Equipements
Appareils du laboratoire MATEIS
Techniques de préparation
- Métallisation or, alumine, carbone
- Scie à fil
- Découpe ultrasonore
- Tripode
- Polissage électrolytique
- Polissage vibratoire
- Ultramicrotomie à température ambiante
- PIPS
Microscope optique : Zeiss axiophot travaillant en réflexion, transmission, lumière polarisée, etc.
Microscope électronique à balayage : Zeiss Supra 55VP équipé de :
- Système de décontamination in situ (Evactron de XEI Scientific)
- Analyse EDS (X-max SDD 80 mm² de Oxford Instruments)
- EBSD (caméra Nordlys de Oxford Instruments)
- Platine de traction in situ (Gatan)
Microscope électronique en transmission : JEOL 200CX équipé de
- Caméra Orius (Gatan)
- Porte-objets simple-tilt, double-tilt, tilt-rotation
- Analyse EDS (xxx de Oxford Instruments)
Appareils du Centre Lyonnais de Microscopie (CLYM)
Microscope électronique à balayage environnemental (FEI ESEM XL-30 FEG)
- Analyse EDS (X-max 50 mm² de Oxford Instruments)
- Platine Peltier
- Platines chauffantes (1000 et 1500°C)
- Portoir Wet-STEM « maison »
- Platine Peltier tomographique « maison »
- Platine de traction
- Platine de traction-chauffante « maison »
- Micro-injecteur
Microscope électronique en transmission (JEOL 2010F)
- Caméra Orius (Gatan)
- Analyse EDS (X-max 80 mm² de Oxford Instruments)
- Spectromètre de pertes d’énergie des électrons (DigiPEELS de Gatan)
- Module STEM-HAADF
- Porte-objets simple-tilt, double-tilt et froid (N2) JEOL, analytique Be double-tilt GATAN, nano-indentation NANOFACTORY, embout 'maison' pour tomographie simple-tilt +/-85°.
Microscope électronique en transmission environnemental (FEI Titan ETEM G2 80-300 kV)
- Spectromètre de masse, plasma cleaner in situ
- Module STEM-HAADF
- Correction d’aberration sphérique type « objectif »
- Porte-objets standard, tomographique, chauffants, double-tilts
Focused-ion beam (ZEISS NVision40, GEMIN SEM column, SII Ion Beam column)
- Détecteur STEM basse tension
- Manipulateur (Klocke)
- EBSD : camera rapide Nordlys 2S, Oxford Instruments
- EDS : SDD X-max 50 mm², Oxford Instruments
- FIBICS : Système de balayage externe (FIB/SEM) à très haute résolution pour la nanopatterning et la 3D haute-résolution
- FLOODGUN : compensateur de charges
- GIS : C, W, SiOx, H2O, XeF2
- Secondary Ion Detector