Equipements

Appareils du laboratoire MATEIS

Techniques de préparation

Métallisation or, alumine, carbone
Scie à fil
Découpe ultrasonore
Tripode
Polissage électrolytique
Polissage vibratoire
Ultramicrotomie à température ambiante
PIPS

Microscope optique : Zeiss axiophot travaillant en réflexion, transmission, lumière polarisée, etc.

Microscope électronique à balayage : Zeiss Supra 55VP équipé de :

Système de décontamination in situ (Evactron de XEI Scientific)
Analyse EDS (X-max SDD 80 mm² de Oxford Instruments)
EBSD (caméra Nordlys de Oxford Instruments)
Platine de traction in situ (Gatan)

Microscope électronique en transmission : JEOL 200CX équipé de

Caméra Orius (Gatan)
Porte-objets simple-tilt, double-tilt, tilt-rotation
Analyse EDS (xxx de Oxford Instruments)

Appareils du Centre Lyonnais de Microscopie (CLYM)

Microscope électronique à balayage environnemental (FEI ESEM XL-30 FEG)

Analyse EDS (X-max 50 mm² de Oxford Instruments)
Platine Peltier
Platines chauffantes (1000 et 1500°C)
Portoir Wet-STEM « maison »
Platine Peltier tomographique « maison »
Platine de traction
Platine de traction-chauffante « maison »
Micro-injecteur

Microscope électronique en transmission (JEOL 2010F)

Caméra Orius (Gatan)
Analyse EDS (X-max 80 mm² de Oxford Instruments)
Spectromètre de pertes d’énergie des électrons (DigiPEELS de Gatan)
Module STEM-HAADF
Porte-objets simple-tilt, double-tilt et froid (N2) JEOL, analytique Be double-tilt GATAN, nano-indentation NANOFACTORY, embout 'maison' pour tomographie simple-tilt +/-85°.

Microscope électronique en transmission environnemental (FEI Titan ETEM G2 80-300 kV)

Spectromètre de masse, plasma cleaner in situ
Module STEM-HAADF
Correction d’aberration sphérique type « objectif »
Porte-objets standard, tomographique, chauffants, double-tilts

Focused-ion beam (ZEISS NVision40, GEMIN SEM column, SII Ion Beam column)

Détecteur STEM basse tension
Manipulateur (Klocke)
EBSD : camera rapide Nordlys 2S, Oxford Instruments
EDS : SDD X-max 50 mm², Oxford Instruments
FIBICS : Système de balayage externe (FIB/SEM) à très haute résolution pour la nanopatterning et la 3D haute-résolution
FLOODGUN : compensateur de charges
GIS : C, W, SiOx, H2O, XeF2
Secondary Ion Detector